8英寸MEMS晶圆生产线之大束流离子注入机国际招标公告(1)
项目详情
中国仪器进XXXXX公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-03-28在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称：大束流离子注入机设备数量：1台设备用途：主要用于产品的大束流注入工艺。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX003招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之大束流离子注入机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 大束流离子注入机 1台 主要用于产品的大束流注入工艺。晶圆规格：8英寸（直径200mm），notch晶圆；晶圆厚度：400μm~900μm；注入杂质：B11+，P31+，BF2+，As75+，Sb51+；Twist 0°~ 360°（精度优于0.5°）；详见招标文件第八章3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不...
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