项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之金属刻蚀机招标项目编号:XXXXX008招标范围:设备名称:金属刻蚀机设备数量:1台设备用途:本设备主要用于8英寸MEMS器件各种产品生产中钨、铝、钛、钽等金属薄膜...
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