安徽招标网:8英寸MEMS晶圆生产线之多靶溅射机国际招标公告(1)-安华招标网

8英寸MEMS晶圆生产线之多靶溅射机国际招标公告(1)

您还未登录，请先注册登录账户

如需查看详细内容，请先【注册】成为会员

已注册会员请【登录】后查看

更多详情，请查看【会员服务列表】

如果您需要解决其他问题，请您拨打客服热线：400-1665-567

欢迎登录安华招标网

登录注册

中国仪器进XXXXX公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-30在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称：多靶溅射机设备数量：1台设备用途：该设备主要用于硅平面、介质层及金属层表面Ti、Au、Pt、Cr等粘附层、阻挡层、与种子层的磁控溅射工艺，以及需要采用shadow mask溅射工艺来制备PAD、镜面等。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX025招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之多靶溅射机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1 多靶溅射机 1套机台规格为全新机台，适用晶圆尺寸：8英寸，notch，基片托盘：≥10个，预真空室可装载至少10个基片托盘，每个基片托盘可装载1片基片；设备配置：磁控阴极≥4个，阴极靶材尺寸≥6英寸；具有Loadlock（装载模块）；传输模块装有机械手，可实现晶圆在Loadlock（装载模块）和工艺模块之间的传输；具备反溅清洗功能及加...

查看详细内容，请先登录

8英寸MEMS晶圆生产线之多靶溅射机国际招标公告(1)

项目详情

相关信息

VIP项目

最近浏览

友情链接

扫码下载APP

微信关注